Defecte și cauze ale napolitanelor

Napolitanele sunt împărțite în napolitane goale și napolitane cu model, așa cum se arată în Figura 6. Punctele de pornire pentru a lua în considerare tipurile de defecte ale celor două tipuri de napolitane sunt oarecum diferite. Există multe tipuri de defecte pe suprafața plachetei, care pot fi cauzate de proces sau de defectele materialului în sine. Diferite metode de detectare a defectelor pot fi utilizate pentru a împărți defectele în mod diferit. Având în vedere proprietățile fizice ale defectelor și pertinența algoritmului de detectare a defectelor ulterioare, defectele pot fi simplu împărțite în redundanțe de suprafață (particule, contaminanți etc.), defecte de cristal (defecte de linie de alunecare, defecte de stivuire), zgârieturi și model. defecte (pentru napolitane cu model).
Redundanțe de suprafață
Există multe tipuri de redundanțe pe suprafața plachetei, variind de la particule mici de zeci de nanometri până la praf de sute de microni, precum și reziduuri de suprafață lăsate de procesul anterior. Particulele pot fi introduse în procese precum gravarea, lustruirea și curățarea. Defectele redundante provin în principal din praful de pe suprafața plachetei în timpul producției și procesării, puritatea aerului care nu respectă standardul și reactivii chimici în timpul procesării. Aceste particule vor bloca lumina în timpul fotolitografiei, provocând defecte în structura circuitului integrat. Contaminanții pot adera la suprafața plachetei, cauzând modele incomplete și afectând caracteristicile electrice ale cipului, așa cum se arată în Figura 7.
Defecte de cristal
Defectele liniei de alunecare sunt, de asemenea, un defect comun. Sunt cauzate de încălzirea neuniformă în timpul creșterii cristalelor. Ele formează de obicei linii drepte subțiri orizontale la marginea exterioară a plachetei. Deoarece dimensiunea liniei de alunecare este relativ mare, aceasta poate fi identificată prin observare manuală.
Defectele de stivuire sunt, de asemenea, defecte care pot fi găsite în straturile epitaxiale. Ele sunt, în general, cauzate de distrugerea ordinii normale de stivuire a planurilor compacte din structura cristalină. Dimensiunea lor este de obicei la nivelul micronului.
Deteriorări mecanice
Deteriorările mecanice se referă în general la zgârieturile de pe suprafața napolitanei cauzate de lustruire sau feliere. În general, este cauzată de lustruirea chimic-mecanică (CMP) și are formă de arc sau poate fi distribuită într-o formă de punct discontinuă, așa cum se arată în Figura 10. Această deteriorare poate fi mare sau mică și afectează de obicei conectivitatea circuitului wafer-ului. Este un defect mai grav. Acest defect poate fi corectat și poate fi cauzat de o funcționare mecanică necorespunzătoare.